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現代超純水制造工業純水設備典型工藝流程為：
1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點
2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
反滲透超純水設備:
反滲透水處理設備（膜分離）技術的應用使反滲透超純水設備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業。國家經委也已將RO + EDI 成套技術的應用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業給以政策上的優惠.
反滲透（膜分離）法超純水制造技術:
反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
反滲透法分離過程有如下優點：
①不需加熱、沒有相變；
②能耗少；過程連續穩定；
③設備體積小、操作簡單，適應性強；
④對環境不產生污染。
反滲透純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率＜10-20μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米。 反滲透膜老化或受污染后，產水質量會下降.
反滲透純水系統廣泛應用于:
電子工業用水 集成電路、硅晶片、顯示管等電子元器件沖洗水
制藥行業用水 制藥行業用水 大輸液、針劑、片劑、生化制品、設備清洗等
化工行業工藝用水 化工循環水、化工產品制造等
電力行業 鍋爐補給水 火力發電鍋爐、廠礦中低壓鍋爐動力系統等
食品工業用水 飲用純凈水、飲料、啤酒、白酒、保健品等
海水、苦咸水淡化 海島、艦船、海上鉆井平臺、苦咸水地區等
飲用純凈水 房產物業、社區、企事業單位等
超聲波清洗用水 電腦配件、特種材料、精密機械等要求高清潔度的超聲波清洗線
電鍍行業用水 清洗工件用水,槽液用水
其它工藝用水 汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細化學品等
